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近日，中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)集成電路分會(huì)理事長葉甜春介紹了國內(nèi)集成電路的最新形勢(shì)。2008年到2022年中國集成電路產(chǎn)業(yè)保持快速增長，2022年，中國IC設(shè)計(jì)銷售額達(dá)到5156.2億元，銷售額增長13.2倍，制造業(yè)銷售收入達(dá)到2995.1億元，銷售額增長9.8倍。2022年，國內(nèi)14家代表設(shè)備廠商營業(yè)收入已經(jīng)超過300億元。
近日，調(diào)研機(jī)構(gòu)CINNO又發(fā)布最新的調(diào)研報(bào)告顯示，2023年上半年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備廠商市場(chǎng)規(guī)模前十大公司合計(jì)超160億元，同比增長39%，環(huán)比下降9%。


本文詳細(xì)解讀一下排名前10的中國半導(dǎo)體設(shè)備廠商財(cái)報(bào)和最新半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品進(jìn)展。
2023年1H國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商業(yè)績變化：7家業(yè)績和凈利潤高增長，3家同比下滑
半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)在2023年上半年實(shí)現(xiàn)了持續(xù)的高增長，看好未來的“資本開支+國產(chǎn)化率+政策支持”三輪驅(qū)動(dòng)。2023年上半年，北方華創(chuàng)作為國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)龍頭企業(yè)，上半年?duì)I收達(dá)到84.27億元，遠(yuǎn)超第二、第三名廠商，位列第一。中微公司排名第二，上半年?duì)I收達(dá)到25.27億，盛美上海排名第三，上半年?duì)I收達(dá)到16.1億。華海清科上半年?duì)I收達(dá)到12.34億，從2022年排名第6躍升到第四名，成績亮眼。


凈利潤方面，排名前四的半導(dǎo)體設(shè)備廠商利潤同比增長均超過85%，顯示盈利能力持續(xù)提升，北方華創(chuàng)上半年的凈利潤達(dá)到17.99億，同比增長138.43%，表現(xiàn)亮眼。中微半導(dǎo)體上半年凈利潤達(dá)到10.03億，同比增長114.40%。長川科技、華峰測(cè)控和新益昌出現(xiàn)了營收和凈利潤下滑。
近年來，半導(dǎo)體設(shè)備充分受益于國產(chǎn)自主可控以及晶圓廠擴(kuò)建浪潮，持續(xù)保持逆周期強(qiáng)勁增長。不過，在行業(yè)去庫存深入推進(jìn)背景下，半導(dǎo)體設(shè)備持續(xù)獲得新增訂單能力備受市場(chǎng)關(guān)注。
Top1北方華創(chuàng)：國產(chǎn)替代加速，公司收入和凈利潤創(chuàng)歷史新高
4月28日，北方華創(chuàng)發(fā)布2022年年度業(yè)績報(bào)告稱，年度實(shí)現(xiàn)營收146.88億元，同比增長51.68%，實(shí)現(xiàn)公司營業(yè)收入“百億級(jí)”跨越；歸屬于上市公司股東的凈利潤23.53億元，同比增長118.37%。2023年上半年，北方華創(chuàng)實(shí)現(xiàn)營收84.27億，同比增加54.79%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤17.99 億元，同比增加138.43%。
盈利能力大幅提升，在手訂單充裕。2023H1 公司電子工藝裝備、電子元器件的營收分別為73.49 億元和10.59 億元。產(chǎn)品層面，公司覆蓋刻蝕、薄膜、立式爐、外延、清洗、臥式爐等多個(gè)領(lǐng)域，無論是邏輯還是存儲(chǔ)，國內(nèi)多家晶圓廠均與公司保持著密切的合作關(guān)系，公司2023年以來相繼推出12 英寸晶邊刻蝕機(jī)、12 英寸去膠機(jī)等新產(chǎn)品，同時(shí)各類標(biāo)桿產(chǎn)品相繼達(dá)到銷量里程碑。
9月18日，北方華創(chuàng)在投資者平臺(tái)透露，公司前期已經(jīng)發(fā)布了首臺(tái)國產(chǎn)12英寸CCP晶邊干法刻蝕設(shè)備研發(fā)成功的有關(guān)信息，目前已在客戶端實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，其優(yōu)秀的工藝均勻性、穩(wěn)定性贏得客戶高度評(píng)價(jià)。
Top2：中微公司：刻蝕設(shè)備國產(chǎn)替代領(lǐng)軍者，凈利潤同比增長114.4%
中微公司上半年實(shí)現(xiàn)營收25.27億元，同比增長28.13%。分產(chǎn)品來看，公司刻蝕設(shè)備在國內(nèi)外的市占率不斷提高，實(shí)現(xiàn)收入17.22億元，同比增長約32.53%；MOCVD設(shè)備在藍(lán)綠光LED生產(chǎn)線上繼續(xù)保持絕對(duì)領(lǐng)先的地位，實(shí)現(xiàn)收入2.99億元，同比增長約24.11%。
中微公司董事長尹志堯表示，公司開發(fā)的刻蝕設(shè)備和MOCVD設(shè)備，已在性能和性價(jià)比上進(jìn)入國際三強(qiáng)，部分產(chǎn)品在其細(xì)分領(lǐng)域全球領(lǐng)先。同時(shí)，LPCVD等多款新產(chǎn)品研發(fā)項(xiàng)目正在快速推進(jìn)。在國際最先進(jìn)的5納米芯片生產(chǎn)線及下一代更先進(jìn)的生產(chǎn)線上，公司的CCP刻蝕設(shè)備實(shí)現(xiàn)了多次批量銷售，已有超過200臺(tái)反應(yīng)臺(tái)在生產(chǎn)線合格運(yùn)轉(zhuǎn)。
中微公司針對(duì)28nm及以下邏輯器件的一體化大馬士革刻蝕工藝開發(fā)的可調(diào)節(jié)電極間距的CCP刻蝕機(jī)PrimoSD-RIE已經(jīng)進(jìn)入客戶驗(yàn)證階段。
Top3盛美上海：在手訂單總額68億，超過去年?duì)I收規(guī)模2倍
受益于國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)需求的不斷增加、盛美上海公司新產(chǎn)品訂單穩(wěn)步起量以及新客戶、新市場(chǎng)開拓取得的成效，2022年度公司營收、凈利潤持續(xù)保持高質(zhì)量的快速增長。
盛美上海今年上半年?duì)I業(yè)收入實(shí)現(xiàn)16.10 億元，同比增長46.94%，公司實(shí)現(xiàn)歸屬凈利潤4.39億元，同比增長約八成。相比去年上半年同期歸屬凈利潤同比1.64倍增長，今年公司業(yè)績同期增速有所回落。
盛美上海從事清洗設(shè)備、電鍍?cè)O(shè)備、無應(yīng)力拋光設(shè)備、立式爐管設(shè)備、前道涂膠顯影設(shè)備和等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備等的開發(fā)、制造和銷售。截至2023年9月27日，公司在手訂單總金額為67.96億元，其中，已簽訂合同訂單總額65.26億元，同比增長約四成，已中標(biāo)尚未簽訂合同訂單2.7億元，同比增長近16倍。
Top4 華海清科：CMP設(shè)備領(lǐng)域國產(chǎn)化領(lǐng)跑者，多品類并行發(fā)展
華海清科是一家擁有核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，公司在納米級(jí)拋光、納米精度膜厚在線檢測(cè)、納米顆粒超潔凈清洗、大數(shù)據(jù)分析及智能化控制等關(guān)鍵技術(shù)層面取得了有效突破和系統(tǒng)布局，開發(fā)出了Universal系列CMP設(shè)備、Versatile系列減薄設(shè)備、HSDS/HCDS系列供液系統(tǒng)、膜厚測(cè)量設(shè)備，初步實(shí)現(xiàn)了“裝備+服務(wù)”的平臺(tái)化戰(zhàn)略布局。
這家公司在2022年6月上市，上半年半導(dǎo)體裝備相關(guān)營收12.3億元，同比增長72%。在設(shè)備領(lǐng)域，2022年度，公司CMP設(shè)備在邏輯芯片、DRAM存儲(chǔ)芯片、3DNAND存儲(chǔ)芯片等領(lǐng)域的成熟制程均完成了90%以上CMP工藝類型和工藝數(shù)量的覆蓋度，部分關(guān)鍵CMP工藝類型成為工藝基準(zhǔn)（Baseline）機(jī)臺(tái)。今年9月1日，華海清科首臺(tái)12英寸單片終端清洗機(jī)HSC-F3400機(jī)臺(tái)發(fā)往國內(nèi)大硅片龍頭企業(yè)。HSC-F3400機(jī)臺(tái)是這家公司在濕法設(shè)備系列產(chǎn)品中推出的一項(xiàng)重要成果。
Top5 拓荊科技：營收和凈利潤同增長，SACVD和HDPCVD設(shè)備實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化
拓荊科技聚焦于半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備，目前已形成PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD等薄膜設(shè)備產(chǎn)品系列，該產(chǎn)品系列已廣泛應(yīng)用于國內(nèi)集成電路邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片等制造產(chǎn)線。公司上半年收入10.04億元，同比增長91.83%；歸屬母公司凈利潤1.25億元，同比增長15.22%。受益于國內(nèi)晶圓廠持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)，
報(bào)告期內(nèi)，拓荊科技的PECVD設(shè)備實(shí)現(xiàn)銷售收入9.08億元，較上年同期增長94.35%；HDPCVD設(shè)備、應(yīng)用于晶圓級(jí)三維集成領(lǐng)域的混合鍵合設(shè)備順利通過客戶端產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)了首臺(tái)的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，ALD設(shè)備、SACVD設(shè)備持續(xù)獲得客戶驗(yàn)收，均實(shí)現(xiàn)銷售收入。
Top6長川科技：上半年?duì)I收和凈利潤下滑，數(shù)字SoC測(cè)試機(jī)開始放量
長川科技主營半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備，包括測(cè)試機(jī)、分選機(jī)、探針臺(tái)等，今年上半年半導(dǎo)體裝備相關(guān)營收7.6億元，同比下降36%。今年上半年，行業(yè)景氣度影響下游擴(kuò)產(chǎn)節(jié)奏，公司傳統(tǒng)測(cè)試、分選機(jī)等業(yè)務(wù)營收同比承壓，同時(shí)客戶短期訂單節(jié)奏等也一定程度影響了數(shù)字SoC 測(cè)試機(jī)等的收入表現(xiàn)。公司上半年測(cè)試和分選機(jī)收入為2.5 億元和4.3億元，分別同比下滑48%和33%。
Top 7 芯源微：涂膠顯影龍頭，上半年業(yè)績大幅度提升
芯源微主營半導(dǎo)體晶圓制造中的濕制程設(shè)備，包括涂膠顯影、刻蝕、清洗設(shè)備等，1H'23半導(dǎo)體裝備相關(guān)營收7.0億元，同比增長38%。
上半年，芯源微浸沒式涂膠顯影機(jī)在客戶端導(dǎo)入進(jìn)展良好，其中超高溫Barc 設(shè)備取得客戶重復(fù)性訂單；公司前道物理清洗機(jī)產(chǎn)品具備高產(chǎn)能、高顆粒去除能力、高性價(jià)比等優(yōu)勢(shì)，上半年需求旺盛，已成為國內(nèi)邏輯、功率器件廠商主流機(jī)型。
Top 8 至純科技：凈利潤和營收同比正增長，多元化策略見效
至純科技主營業(yè)務(wù)包括高純工藝集成系統(tǒng)、半導(dǎo)體濕制程設(shè)備、光傳感及光器件等，1H'23半導(dǎo)體裝備相關(guān)業(yè)務(wù)營收4.4億元，同比增長17%。
在2023年上半年，至純科技獲得的新訂單總額高達(dá)32.66億元，年增38.28%，其中半導(dǎo)體行業(yè)占比73.65%。同時(shí)，公司也成功吸引了來自泛半導(dǎo)體和生物醫(yī)藥行業(yè)的訂單，證明其市場(chǎng)影響力和多元化策略開始見效。
Top 9 華峰測(cè)控：業(yè)績承壓，面向SoC領(lǐng)域推出新一代測(cè)試平臺(tái)
華峰測(cè)控主營業(yè)務(wù)為半導(dǎo)體自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品主要用于模擬、數(shù)模混合、分立器件和功率模塊等集成電路的測(cè)試，今年上半年半導(dǎo)體裝備相關(guān)業(yè)務(wù)營收3.8億元，同比下降30%。受行業(yè)周期下行影響，華峰測(cè)控訂單下降，導(dǎo)致上半年?duì)I收、凈利潤下滑。但公司訂單環(huán)比逐步向好，大客戶批量訂單增加。
今年 6月，華峰測(cè)控推出了面向SoC領(lǐng)域的新一代測(cè)試平臺(tái) STS8600，該機(jī)型擁有更多的測(cè)試道道數(shù)以及更高的測(cè)試頻事，進(jìn)一步完善了公司的產(chǎn)品線，拓寬了公司產(chǎn)品的可測(cè)試范圍。
Top10 新益昌：LED固晶機(jī)龍頭，營收和凈利潤承壓
新益昌聚焦封裝用固晶機(jī)、電容老化測(cè)試設(shè)備，其在中國大陸LED固晶機(jī)領(lǐng)域有領(lǐng)先地位，新益昌在國內(nèi)固晶機(jī)市場(chǎng)的占有率已經(jīng)超過70%，客戶普及率也已超過9 成。
2023年上半年，新益昌實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入5.39億元，較上年同期減少16.43%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤4409.86萬元，較上年同期減少63.90%。伴隨下游擴(kuò)產(chǎn)逐步回暖，公司預(yù)計(jì)下半年高毛利的Mini LED 固晶設(shè)備收入占比有望提升，盈利能力存優(yōu)化空間。